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ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案

意大利ADEV公司很高興宣布推出自己的微量水分異動傳感器QZ3202及QZ360系列高純氣體露點儀ppb微量水分析儀。 QZ360是一款在線的微量水分傳感器，專為半導體晶圓廠的高純惰性氣體而設計；適合多點安裝在氣路進入制程工具前的zui末端。 QZ360安裝的管網(wǎng)上，可以快速的（小于一分鐘）偵測出在1 ppb 基準上低至20ppb 的濕度異動。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案，這款新的傳感器是ADEV儀表針對晶圓工業(yè)在尺寸和規(guī)格方面zui新需求的相應。晶圓廠不斷地在推動技術以達到在元件尺寸和封裝上的要求。新的更大尺寸的晶圓具有更昂貴的單位價值，使得晶圓廠不斷提高產(chǎn)出，減少由于污染而導致的殘品率。當前規(guī)定大宗散裝惰性氣（N2，Ar）的潮氣污染水平要小于10 ppb，而趨勢是要降低至1ppb以下。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案

為了同時保證達到高靈敏度和快速反應的要求，ADEV創(chuàng)造了一種獨特的偵測算法，并輔以全新的適合高純氣的石英晶體振蕩傳感器設計。除此以外，QZ360ppb微量水分析儀還可以滿足半導體行業(yè)的特殊的包裝要求，QZ360露點儀達到了材質和表面處理的zui高標準，整個裝配和包裝都是在100 的潔凈室完成。在包裝前，ADEV儀器公司還要在10-9 bar / 秒的條件下對QZ360露點儀進行密封性測試，以達到在兩年內免維護和正常工作的設計要求。信號通過MODBUS輸出，以LED交通燈的形式顯示警告和報警狀態(tài)。將來還將具有4-20mA輸出。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案

通常，在大宗散裝氣體進入FAB前的zui末端，通過安裝大型而復雜的儀器來監(jiān)測濕度污染，存在著價格昂貴而且反應速度慢的問題，而大宗氣體的濕度污染是不常發(fā)生的；與此相反，在FAB的內部，由許多的分管，節(jié)點，和使用點而構成的管網(wǎng)，即傳統(tǒng)的濕度監(jiān)測點的下游，潮氣進入?yún)s是經(jīng)常發(fā)生的，造成的原因可能是微小的泄漏，系統(tǒng)設計缺陷，元件損壞，或者流程上的失敗。ADEV石英晶體振蕩微量水分析儀針對半導體晶圓廠和高純氣領域露點測試方案，QZ360ppb微量水分析儀的小巧尺寸和**概念使得在多個使用點的安裝成為可行，成為保護晶圓制造流程的一個投入少，見效快的手段

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